程控勻膠機具有真空通道進膠安全保護功能
更新時間:2023-02-01 | 點擊率:684
程控勻膠機具有速度精度高、轉速穩定、旋轉加速度可控、勻膠過程多段程序控制等特點。主要用于微電子、半導體、太陽能電池、新能源、生物材料、光學器件等領域的表面涂膜工藝,例如各類納米薄膜材料、光阻涂層、生物功能涂層的制備。
程控勻膠機的性能:
1.轉速可控范圍:100-12000RPM,轉速分辨率:1RPM
2.大單步步長3000S,旋轉時間分辨率0.1S
3.加速度可控范圍:100-30000RPM/S
4.可處理碎片(小于1cm)至6英寸(150mm)圓晶底物
5.4.3寸全彩觸摸屏,提供觸屏筆操作,中英文界面可選
6.可進行多步程序運行,多可存貯10組10步程序
7.HDPE高分子耐腐蝕、易清潔內腔,帶排廢功能
8.SUS耐腐蝕不銹鋼機身,耐溶劑性PC透明蓋子
9.帶一只自動點膠端口,可升級自動點膠功能
10.100W直流無刷電機,寬電壓適用:AC100-230V輸入
11.帶真空和蓋子開關互鎖功能,確保操作安全
12.標配三種規格鋁合金真空載物盤(直徑10mm、25mm、55mm)
13.防堵膠功能設計,真空通道進膠安全保護功能
14.外形尺寸:256(W)*358(D)*258(H)
程控勻膠機是高精密的旋轉涂膜儀。主要為高等院校、科研院所、研發中心等進行研究,開發各種功能薄膜所用。適用于半導體硅片、晶片、ITO導電玻璃、光學玻璃、生物薄膜、制版等工藝表面涂覆。